洁净室(Clean Room)亦称为无尘室或清净室,是将一定空间范围内的空气中微粒子、有害气体、细菌等污染物排除,并将室内的温度、湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计的房间。亦即是不论外在空气条件如何变化,其实内均能具有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能之特性。洁净室最主要作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触的大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中生产。
洁净室主要控制项目:
1、能除去空气中飘游的微尘粒子
2、能防止微尘粒子的产生
3、温度和湿度的控制
4、压力的调节
5、有害气体的排除
6、结构物与隔间的气密性
7、静电的防制
8、电磁干扰预防
9、安全因素的考虑
10、节能的考量