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洁净室是什么,主要控制项目是什么?阅读次数 [4438] 发布时间 :2017-07-06 10:44:28

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洁净室(Clean Room)亦称为无尘室或清净室,是将一定空间范围内的空气中微粒子、有害气体、细菌等污染物排除,并将室内的温度、湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计的房间。亦即是不论外在空气条件如何变化,其实内均能具有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能之特性。洁净室最主要作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触的大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中生产。
洁净室主要控制项目:

1、能除去空气中飘游的微尘粒子

2、能防止微尘粒子的产生

3、温度和湿度的控制

4、压力的调节

5、有害气体的排除

6、结构物与隔间的气密性

7、静电的防制

8、电磁干扰预防

9、安全因素的考虑

10、节能的考量



 
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